中國光刻機上市公司有智光電氣、飛凱材料、南大光電和藍英裝備。光刻機，英文名Mask Aligner，又名掩模對準曝光機，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)，是制造芯片的核心裝備，主要廠商有ASML、尼康、佳能、歐泰克、上海微電子裝備、SUSS、ABM Inc。

國內(nèi)光刻機上市企業(yè)簡介

一、智光電氣（002169）

智光電氣主要從事電網(wǎng)安全與控制設備、電機控制與節(jié)能設備、供用電控制與自動化設備及電力信息化系統(tǒng)研發(fā)、設計、生產(chǎn)和銷售。公司已建立了以測控技術、電力電子技術、通信技術和應用軟件技術為基礎的核心技術平臺，形成了面向電氣控制與自動化前沿領域的產(chǎn)品布局。

二、飛凱材料（300398）

公司成立于2002年，總部和研發(fā)中心位于上海市寶山，在安徽省安慶市、廣東省惠州市、江蘇省南京市均建有大規(guī)模生產(chǎn)基地；并在杭州、蘇州、深圳、臺灣高雄，以及美國舊金山、亞特蘭大、日本、韓國首爾、印度班加羅爾等地設有辦事機構或聯(lián)絡點，構成了以上海為中心的國內(nèi)外銷售服務網(wǎng)絡。

三、南大光電（300346）

3月27日晚間，南大光電發(fā)布了2018年業(yè)績公告。公告中提到，南大光電在報告期內(nèi)實現(xiàn)營業(yè)收入22，817.49萬元，同比上升28.76%。電子特氣產(chǎn)品已在LED行業(yè)取得主要的市場份額，并實現(xiàn)了在IC行業(yè)的快速替代進口，得到了廣大客戶的高度認可，已成為公司新的利潤增長點。

四、藍英裝備（300293）

藍英裝備于2019年4月25日披露年報，公司2018年實現(xiàn)營業(yè)總收入17.3億，同比增長28.1%；實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤1616.1萬，同比增長124.8%；每股收益為0.06元。19年一季度公司實現(xiàn)營業(yè)總收入4.1億，同比增長10.8%；歸屬于母公司所有者的凈利潤966.8萬，同比增長4.8%。